- сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта)
-
3.20 сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта): Перемещение электронного зонда вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновременной регистрацией информативного сигнала.
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации. academic.ru. 2015.